Автоматизированная химическая механика какой лучше

Общий обзор:

Химическая механическая полировальная машина RTEC CP - 6 использует профессиональный подход к изучению и описанию процесса CMP. В дополнение к полировке кристаллической окружности и базовой пластины, тестер также оснащен онлайн - профилографом поверхности. Эта комбинация дает информацию о причинах и способах изменений поверхности, трения, износа и т.д. Тестер также может измерять несколько внутренних параметров, таких как трение, шероховатость поверхности, количество износа и т. Д. Для детального понимания процесса.

Особенности:

Интегрированный 3D - микроскоп с общей фокусировкой, который может представлять поверхность полированной подушки с разрешением nm;

2. Внутреннее трение, акустическая эмиссия исследования процесса полировки;

3. Внутренние датчики температуры;

4. Может быть установлено несколько размеров кристаллической окружности;

5. Контролируемое нижнее давление и скорость.

Стандартная конфигурация имеет платформу X, Y, которая перемещает нажимную пластину между полировкой и позицией изображения. Кроме того, платформа XY помогает колебать кристаллические окружности во время полировки. Использование нажимной пластины с приводом XY позволяет многоосной комбинации приводов создавать пользовательские движения для моделирования условий тестирования, близких к реальной производственной среде.

Внутренний датчик:

Интранный датчик крутящего момента с высоким разрешением обеспечивает позиционирование конечной точки и представление поверхности в реальном времени;

2. Акустические - звуковые сигналы, позволяющие качественно завершать или помогающие обнаруживать фрагменты, дефекты в процессе полировки;

Температура - онлайновый контроль температуры на сварных дисках и участках вблизи полированной поверхности кристаллического круга помогает изучить механизм удаления.

Программируемая нагрузка, скорость:

Для оптимизации процесса CP - 6 позволяет использовать программное обеспечение на основе формулы для управления и изменения силы, скорости, скорости потока.

Легко использовать:

Измеритель трения оснащен быстросменным носителем, который может легко устанавливать кристаллические круги и сварочные диски. Программа поставляется с заранее определенной стандартной тестовой формулой или может легко создавать новые пользовательские формулы.

Интегрированный 3D - контур:

Химическая механическая полировальная машина Rtec оснащена встроенным 3D - контуром. Оптимизированная для представления поверхности полированной прокладки с разрешением nm. Детектор оснащен конфокальным режимом + интерферометрическим режимом + темным и открытым полем. Это позволяет изучать связь между изменениями поверхности и временем с разрешением nm. Тестер позволяет сшивать себя на большой площади поверхности для расчета объемного износа, шероховатости.