-
Электронная почта
xqjiang@rtec-instruments.cn
-
Телефон
18013892749
-
Адрес
Пекинский район Хайдянь, 26, комната 305
Пекинская научно - техническая компания Чжунцзиньи
xqjiang@rtec-instruments.cn
18013892749
Пекинский район Хайдянь, 26, комната 305
Тип Rpo - 6Химико - механическая полировальная машинаОсновные характеристики
технология
Химико - механическая полировка (CMP) - это процесс выравнивания находящегося в процессе обработки чипа или другого материала, в то время как технология полировки - это процесс полировки чипа с использованием физической и химической синергии, которая выполняется путем нагружения основания образца, хранящегося в полированной пластине. Когда полировальная жидкость, содержащая как абразивный агент, так и активный химический агент, проходит через дно, полированная прокладка и образец начинают вращаться по счету.
трение на месте
Прибор изучает основные методы полировки, измеряя степень трения и износа на месте, в то время как изменения трения могут быть использованы для описания приближения скорости удаления.
Износ прокладки на месте
Коэффициент износа на месте может использоваться для отражения состояния прокладки при полировке, регулировке и т.д.
состояние
Регулирование на месте и вне места
Размер чипа
Легко заменяемые приспособления для микросхем могут быть полированы на одном и том же испытательном приборе размер образца колеблется от 1 до 6 дюймов.
Насос
Независимые программируемые насосы обеспечивают глинистый раствор, воду и другие химические продукты.
Расходные материалы и соответствующие консультации
Стандартные полированные материалы, которые мы предлагаем, содержат не только приборы, но и ряд расходных материалов (полировочные жидкости, полированные прокладки и т. Д.), в то время как наша научная команда также предоставляет вам консультационные услуги по разработке и оптимизации технологических процессов.
Тип Rpo - 6Химико - механическая полировальная машинаспецификация
Загрузка искусственных чипов
Настольная система разработки CMP
Регулирование на месте и вне места
Буровой раствор и водопровод с программируемыми насосами
Высокая твердость и хороший контроль силы
Диаметр барабана 340 мм
6 - дюймовый образец.
Выбор трения на месте и износа прокладок
Размеры печати w870x, d800x, h870mm
Приложения - CMP, MEMS, тестирование расходных материалов
приложение
Полировка
Разработка технологии
Развитие окружающей среды
Разработка полировочной жидкости
признак полированной прокладки
Разработка частиц