Импортные плазменные очистители

Этот пункткварцевый вакуумный плазменный промывательНаличиеособыйКонструкция кварцевой полости, с отличной герметичностью, эффективно предотвращает утечку газа, повышает безопасность оборудования. Его радиочастотный плазменный генератор 13.56 МГц может генерировать плазму высокой плотности, которая может проникать в крошечные структуры поверхности продукта, обеспечивая превосходный эффект очистки и обработки. Кроме того, эта эффективная плазменная обработка помогает улучшить производительность небольших продуктов в экспериментальных испытаниях и отвечает строгим требованиям к высокоточной и высокоточной обработке поверхностей в научных исследованиях и промышленности.

Принцип: Как плазма обеспечивает эффективную очистку?

Кварцевый вакуумный плазменный очиститель использует физическую бомбардировку и химическую реакцию плазмы, очищает, активирует и модифицирует поверхность материала в вакуумной среде, подходит для полупроводников, оптических устройств, медицинских имплантатов и других высокоточных областей.

1. Механизмы плазменного образования

Вакуумная среда: накачивать реакционную полость до низкого вакуума (10? ~ 10?? Torr), чтобы уменьшить помехи столкновения молекул газа.

ВЧ возбуждение электрического поля: сделать инертный газ (например, AR) или реактивный газ (например, O?, CF?) с помощью радиочастотного источника питания (обычно 13,56 МГц) Ионизация, выработка плазмы, содержащей ионы, электроны, свободные радикалы.

Преимущества кварцевой полости: кварц устойчив к высокой температуре, коррозии, обеспечивает стабильность плазмы и не вводит металлическое загрязнение.

2. Принцип действия очистки

Физическое распыление: ионы высокой энергии бомбардируют поверхность, непосредственно отслаивая органические вещества, частицы загрязняющих веществ.

Химические реакции: активные свободные радикалы (например, O?, F?) ) Реагирует с загрязнителем, образуя летучие продукты (например, CO?, H? О) Вытеснение.

Активация поверхности: плазменная обработка может увеличить энергию поверхности материала и улучшить последующие свойства покрытия или сцепления.

Операционный процесс: стандартизированные шаги от загрузки до очистки

1. Готовность оборудования

Проверьте герметичность системы: убедитесь, что полость, трубопровод без утечки, вакуумный насос (например, роторный насос + молекулярный насос) работает нормально.

Готовность газа: соединить баллоны (например, Ar, O? ), регулировать расходомер до заданного значения (обычно 20 - 50 sccm).

Фиксирование образца: Поместите образец, подлежащий очистке, в кварцевый лоток, чтобы избежать затенения зоны покрытия плазмой.

2. Параметры настройки

Уровень вакуума: откачка до базового вакуума (< 5×10?? torr=''>

Радиочастотная мощность: в зависимости от типа материала (50 - 300 Вт), слишком высокая мощность может повредить образец.

Время обработки: обычная очистка 5 - 30 минут, сверхтонкая очистка может быть увеличена до 1 часа.

3. Запуск плазмы

Введите рабочий газ: сначала введите газ Ar для предварительной очистки, а затем переключитесь на реакционный газ (например, O? Удалите органическое вещество).

Зажгите плазму: включите радиочастотный источник питания и отрегулируйте его через адаптер сопротивления до стабильного тлеющего разряда (равномерное фиолетовое / синее свечение видно невооруженным глазом).

Мониторинг процесса: Наблюдайте вакуум, отражатель мощности (требуется < 5%), немедленно останавливайтесь при аномалии. < >

4. Закрытие и отбор проб

Отключите газ и питание: сначала остановите радиочастоту, затем выключите газ и, наконец, выключите вакуумный насос.

Прорванный забор: вход N в полость? до атмосферного давления, наденьте перчатки без пыли, чтобы удалить образец.

III. Элементы технического обслуживания: ключ к продлению срока службы оборудования

1. Повседневное обслуживание

Чистка полости:

Еженедельно протирайте внутреннюю стенку кварцевой полости IPA для удаления полимерных отложений.

Упрямое загрязнение доступно для озоления кислородной плазмы (мощность 200 Вт, O? Поток 30 sccm, обработка 1 час).

Техническое обслуживание вакуумных насосов:

Ежемесячно проверяется уровень масла роторных насосов и заменяется при мутности масла (рекомендуется менять масло каждые 500 часов).

Молекулярные насосы должны регулярно проверять состояние подшипников, чтобы избежать заклинивания при работе на высокой скорости.

2. Техническое обслуживание ключевых компонентов

Кварцевые окна / поддоны:

Избегайте механических ударов, используйте мягкую ткань + деионную воду при очистке, отключите жесткие щетки.

Каждые полгода проверяется светопроницаемость, и в случае распыления или трещины ее необходимо заменить.

Радиочастотные электроды:

Регулярно полируйте слой окисления поверхности электрода наждачной бумагой, чтобы обеспечить электропроводность.

Проверьте изоляционные прокладки электрода и полости и замените их вовремя при старении и растрескивании.

3. Калибровка и выявление неисправностей

Калибровка вакуумметра: ежеквартально сравнивать стандартный вакуумметр, погрешность > 10% требует корректировки.

Калибровка расходомера газа: калибровка с использованием расходомера на мыльной пленке обеспечивает точность ±2%.

Обычное устранение неполадок:

Нестабильность плазмы: проверка чистоты газа (требуется ≥99,999%), сопротивление сопоставителя.

Недостаточная степень вакуума: выявление старения уплотнительного кольца, загрязнения масла насоса или утечки клапана.

Плохой эффект очистки: отрегулируйте соотношение газов (например, Ar: O? = 4: 1 Усиление реакции окисления).

IV. Безопасность и охрана окружающей среды

Газовая безопасность: O?, CF? Такие легковоспламеняющиеся / токсичные газы должны быть оснащены сигнализатором утечки, а выхлопные газы обрабатываются Scrubber.

Радиационная защита: плазма производит ультрафиолетовые лучи, закрывает окно наблюдения во время работы, избегая прямого взгляда.

Обработка отходов: очищенные отходы (например, IPA) утилизируются в соответствии со спецификацией опасных химических веществ.

V. Оптимизация сценариев применения

Полупроводниковая упаковка: использование Ar / O? Смешанный газ удаляет окислительный слой сварного диска и повышает прочность соединения. Оптическая обработка перед покрытием: H? плазма восстанавливает поверхность, улучшает адгезию мембраны.

　　кварцевый вакуумный плазменный промывательМашина имеет очевидные преимущества не только в производительности, но и в контроле затрат. Это позволяет пользователям выполнять высококачественные задачи по обработке поверхностей в рамках надлежащего бюджета и добиваться роста эффективности затрат. Оснащенный визуальным сенсорным экраном, чтобы сделать операцию более интуитивной, функция мониторинга параметров процесса в режиме реального времени позволяет пользователям мгновенно настраивать и оптимизировать настройки работы, чтобы гарантировать, что эффект обработки всегда соответствует ожиданиям.

Кроме того, устройство поддерживает несколько технологических газов, включая аргон, кислород, водород, гелий и различные фторированные газы, адаптированные к различным требованиям обработки и технологическим условиям. Высокоточная система мониторинга расхода газа в сочетании с двухканальной конфигурацией технологического газа (аргон и кислород) обеспечивает точное управление двухканальным воздушным потоком, пользователь может корректировать соотношение газов по мере необходимости для достижениякачественныйЭффект обработки. Этот гибкий способ использования технологического газа в сочетании с точным управлением потоком еще больше улучшает применимость оборудования и качество обработки, является идеальным решением для обработки поверхности в области научных исследований и промышленности.

(1) Визуальный сенсорный экран, мониторинг параметров процесса в режиме реального времени.

б) Поддерживает различные технологические газы, включая аргон, кислород, водород, гелий и фторированные газы.

(3) Высокоточная система мониторинга расхода газа, двухканальная конфигурация технологического газа (аргон, кислород), двухканальное управление воздушным потоком, пропорция может быть отрегулирована.